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台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机ET4000系列

 台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数

 

最大试片尺寸 210×210mm~300×400mm
重现性 1σ 0.5nm以内
测定范围 Z:100um X:100~305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
测定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

 

台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面

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