轮廓形状测定机EF550A-M50/EF550A--M58产品参数
测定精度 |
Z: 土(2.5+05 × IHI) um以下 H:变位(mm)
X: 士(2.5+0.02L) um以下 L:测定长度(mm) |
分解能 |
X:0.1um Z:0.25?m |
取样数/最小间隔 |
Max 64,000点/Min 0.5um |
测定范围 |
Z:30mm X:50mm |
表示倍率 |
纵(Z)、横(X):1 ~2,000倍 |
直线度精度 |
1.0um/100mm |
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